University of South Florida;
机译:通过电和机械激励信号对MEMS应用的PZT薄膜进行广泛的机电表征
机译:通过电和机械激励信号对MEMS应用的PZT薄膜进行广泛的机电表征
机译:用于MEMS的纳米晶金刚石薄膜的机械表征和应力工程
机译:侧重于应力和机械性能及其与微电子学相关的聚合物薄膜的表征
机译:用于微电子和MEMS应用的薄膜应力的表征和控制。
机译:具有Ru籽晶层的MEMS不可蒸发吸气薄膜的研制与表征
机译:微电子组件薄膜堆叠结构的机械表征及分析
机译:绝缘基板上的siC薄膜用于稳健的微机电系统(mEms)应用