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机译:通过电和机械激励信号对MEMS应用的PZT薄膜进行广泛的机电表征
aixACCT Systems GmbH Dennewartstr. 25 52068 Aachen Germany;
Laboratoire de Céramique EPFL 1015 Lausanne Switzerland;
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Piezoelectric coefficients d33; f and e31; f; PZT thin film; 4-point bending; MEMS devices;
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