Clarkson University.;
机译:山梨酸钾作为铜化学机械平面化浆料中的抑制剂。第二部分:山梨酸酯对化学机械平面化性能的影响
机译:铜化学机械平面化过程中铜浆界面上的化学作用
机译:用于亚微米集成电路制造的化学机械平面化过程中的材料去除区域:浆料化学物质,磨料尺寸分布和晶片-焊盘接触面积的耦合效应
机译:磷酸在铜电化学机械平坦化浆料中的作用
机译:浆料化学物质对铜化学机械平面化的影响。
机译:化学机械平面化过程中浆料混合程度和可用性的浆料注入方案
机译:化学机械平面化过程中浆料混合程度和可用性的浆料注入方案