University of Michigan.;
机译:RF-MEMS中热致残余应力的建模和实验验证
机译:考虑热感应残余应力和工艺不确定性的RF-MEMS开关设计优化
机译:MEMS RF开关中Au触点的基础研究
机译:模拟RF-MEMS开关中热感应残余应力的电磁效应
机译:环境条件对金触点RF微机电系统(MEMS)开关的接触物理的影响
机译:用于表征MEMS开关微接触可靠性和性能的新型测试治具
机译:mEms中材料的可靠性:微发电系统中的残余应力和粘附力。
机译:mEms中材料的可靠性:微型发电系统中的残余应力和粘附力。