用于智能聚光窗户的MEMS微镜结构设计及仿真研究

目录

符号说明

1 绪论

1.1研究的背景及意义

1.2不同驱动方式原理介绍及分析

1.3主要研究内容

1.4本章小结

2 基于MEMS的智能聚光窗户研究

2.1太阳能光伏发电系统

2.2聚光智能窗户的设计要求

2.3聚光窗户模型的结构设计

2.4智能聚光窗户发电量计算及仿真模拟

2.5太阳能发电效率的仿真计算

2.6本章小结

3 电热MEMS微镜的结构设计及仿真

3.1电热驱动理论分析

3.2悬臂梁式电热双晶片的数学模型分析

3.3电热MEMS微反射镜的建模

3.4改进电热MEMS微镜结构参数优化

3.5改进电热MEMS微镜的性能分析

3.6本章小结

4 压电MEMS微镜的结构设计及模拟分析

4.1压电驱动理论介绍

4.2压电MEMS微反射镜的驱动模型分析

4.3压电MEMS微反射镜的有限元仿真

4.4压电MEMS微镜的性能分析

4.5电热微镜与压电微镜的性能对比

4.6本章小结

5 工作总结与展望

5.1工作总结

5.2创新点

5.3展望

参考文献

致谢

攻读学位期间发表的学术论文成果

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