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MEMS微镜有限元仿真及减振结构设计

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摘要

MEMS微镜由于体积小、重量轻等特点已应用于车载雷达之中.本文对MEMS微镜进行有限元仿真,找出微镜的共振频率点及其薄弱环节,确定其工作强度及是否满足车规要求.并针对微镜的薄弱位置进行减振结构设计,增强MEMS微镜抵抗外界振动和冲击的能力,为微镜作为车载雷达的应用提供一种可行的设计.

著录项

来源
《中国水运（下半月）》|2020年第10期|67-68|共2页
作者
张旭;
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作者单位

上海理工大学上海 200082;

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正文语种 chi
中图分类计算机仿真;
关键词
MEMS微镜; 有限元仿真; 减振结构设计;

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