用于追踪聚光的MEMS微镜阵列智能玻璃板

摘要

用于追踪聚光的MEMS微镜阵列智能玻璃板，包括控制电路、反馈电路、微镜玻璃板、太阳高度角传感器；微镜玻璃板包括由数片微镜构成的MEMS微镜阵列，每片微镜从下至上依次为基底、下电极层、保护层、牺牲层、支持层、金属层、补偿层以及悬空设置的上电极层、玻璃层；金属层包括固定部、旋转部以及铰接件，补偿层、支持层分别设置在金属层的旋转部上、下两侧，旋转部、支持层、补偿层共同构成悬臂；上电极层与下电极层、金属层分别与控制电路的电压输出端正、负极电连接；通过太阳高度角传感器提供的数据调整电压大小，驱动单片微镜进行角度偏转。本发明可以使微镜进行0∼90°的偏转以适应太阳高度角的变化，达到追踪聚光的功能。