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致谢
第一章 绪论
1.1 MEMS激光雷达介绍
1.1.1 激光雷达在车用无人驾驶中的应用概述
1.1.2 MEMS技术概述
1.1.3 MEMS技术在激光雷达中的应用
1.2 MEMS扫描镜概述
1.2.1 MEMS扫描镜驱动原理
1.2.2 MEMS扫描镜驱动方式与分类
1.2.3 MEMS扫描镜国内外研究现状
1.2.4 MEMS扫描镜存在的问题
1.3 选题的意义与目的
1.4 主要工作及内容安排
第二章 双层梳齿驱动MEMS扫描镜原理及理论建模
2.1 双层梳齿驱动MEMS扫描镜介绍
2.2.1 直扭转梁的理论分析
2.2.2 S型扭转梁扭转耦合刚度求解
2.3.1 静电力学分析
2.3.2 垂直交错梳齿驱动力理论分析
2.4 镜体残余应力分析
2.5 ITO薄膜光电性能分析
2.6 本章小结
第三章 双层梳齿驱动MEMS扫描镜结构设计与仿真
3.1 MEMS扫描镜整体结构设计
3.1.1 S型扭转梁结构设计
3.1.2 双层梳齿结构设计
3.2.1 MEMS扫描镜模态分析
3.2.2 MEMS扫描镜谐响应分析
3.3 可靠性仿真分析
3.3.1 MEMS扫描镜应力分析
3.3.2 镜体残余应力分析
3.4 扭转特性分析
3.5 本章小结
第四章 双层梳齿驱动MEMS扫描镜加工与制备
4.1 前言
4.2 核心加工工艺简介
4.2.1 MEMS 刻蚀
4.2.2 薄膜沉积
4.2.3 键合、封装工艺
4.3 双层梳齿驱动MEMS扫描镜工艺流程设计与版图设计
4.3.1 工艺流程设计
4.3.2 掩膜版版图设计
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 工作总结
5.2 研究展望
参考文献
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况
合肥工业大学;
