一种MEMS微镜扫描激光雷达系统及其扫描方法

摘要

本发明提供了一种MEMS微镜扫描激光雷达系统及其扫描方法，包括激光发射器、激光接收器、环路器、MEMS微镜和时序控制与测量模块，激光发射器发射激光；环路器将激光传输至MEMS微镜；MEMS微镜将环路器输出的激光反射至目标区域，将目标区域内障碍物的反射光反射回环路器；环路器将MEMS微镜反射的障碍物的反射光传输至激光接收器；激光接收器根据接收到的障碍物的反射光生成回波信号；时序控制与测量模块根据激光接收器生成的回波信号和MEMS微镜反馈的角度信息生成扫描结果，从而可以在实现激光雷达系统高分辨率的基础上，减少激光雷达系统中激光接收器的个数，降低激光雷达系统的成本。