中空复合结构微悬臂梁传感器的研究

目录

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第一章 绪 论

1.1引言

1.2 MEMS传感器

1.3微悬臂梁传感器

1.4研究目的及意义

1.5主要研究内容及章节安排

第二章 微悬臂梁传感器的理论研究

2.1引言

2.2微悬臂梁的一维动力学理论模型

2.3微悬臂梁的二维动力学理论模型

2.4谐振式微悬臂梁传感器性能参数

2.5谐振式微悬臂梁的检测方法

2.6本章小结

第三章 中空复合结构微悬臂梁的设计及分析

3.1引言

3.2中空微流道结构悬臂梁传感器设计

3.3尺度效应分析

3.4流固耦合效应分析

3.5本章小结

第四章 微悬臂梁结构的应力应变及模态分析

4.1引言

4.2矩形平板悬臂梁的仿真结果与分析

4.3中空微流道悬臂梁的仿真结果与分析

4.4本章小结

第五章 中空微流道悬臂梁传感器的性能分析

5.1引言

5.2中空微流道结构的特征频率

5.3中空微流道结构的质量灵敏度

5.4中空微流道结构的品质因数

5.5中空微流道结构的功能化方法

5.6本章小结

第六章 工作总结与展望

6.1工作总结

6.2展望

参考文献

发表论文和参加科研情况说明

致谢