声明
摘要
第一章 绪论
1.1 CuInSe2薄膜太阳能电池
1.1.1 CuInSe2薄膜的优点
1.1.2 CuInSez薄膜的真空制备方法
1.2 CuInSe2系列电池的简介
1.3 本论文的研究背景和选题依据
参考文献
第二章 半密闭石英管RTP硒化共溅射Cu-In预制层制备CuInSe2薄膜
2.1 快速热处理(RTP)简介
2.1.1 RTP的特点
2.1.2 RTP能降低热能损失的原因
2.1.3 RTP制备CuInSe2太阳能薄膜的研究概况
2.2 实验流程
2.3 共溅射法制备Cu-In预制层
2.3.1 磁控溅射简介
2.3.2 实验过程
2.3.3 实验结果及表征
2.4 低温热处理Cu-In预制层
2.4.1 SEM形貌表征
2.4.2 XRD相分析
2.5 高频感应炉蒸Se
2.5.1 高频感应炉蒸Se原理
2.5.2 实验参数
2.5.3 实验过程
2.5.4 实验结果及分析
2.6 RTP硒化制备CuInSe2薄膜
2.6.1 实验过程
2.6.2 实验参数
2.6.3 实验结果及分析
2.7 本章小结
参考文献
第三章 半密闭石墨盒RTP硒化共溅射Cu-In预制层制备CuInSe2薄膜
3.1 半密闭石墨盒法简介
3.1.1 石墨盒的优点
3.1.2 半密闭石墨盒法制备CuInSe2薄膜的研究概况
3.2 实验流程
3.3 共溅射法制备Cu-In预制层
3.3.1 实验过程
3.3.2 实验结果与分析
3.4 高频感应炉蒸硒
3.4.1 实验结果及分析
3.5 RTP硒化制备CuInSe2薄膜
3.5.1 气氛的影响
3.5.2 一段式和二段式热处理制度的影响
3.5.3 温度的影响
3.5.4 添加Se量的影响
3.5.5 石墨盒密闭性的影响
3.5.6 附着力研究总结
3.6 本章小结
参考文献
第四章 共硒硫化制备CuIn(S,Se)2薄膜
4.1 CuIn(S,Se)2薄膜简介
4.1.1 CuIn(S,Se)2薄膜的优点
4.1.2 CuIn(S,Se)2薄膜的制备过程的主要问题
4.1.3 CuIn(S,Se)2薄膜的研究概况
4.2 实验过程
4.3 真空共硒硫化制备CuIn(S,Se)2薄膜
4.3.1 硫硒比例的影响
4.3.2 衬底温度的影响
4.3.3 硒硫源温度的影响
4.3.4 两段式高温保温时间的初步研究
4.4 本章小结
参考文献
第五章 论文总结与展望
5.1 论文总结
5.2 存在的问题和研究展望
致谢
硕士期间论文发表情况
中国科学技术大学;