分子/增压泵结构、性能及其应用的研究

摘要

分子/增压泵是最近实现产业化的新型分子泵，它采用国际首创的专利结构，结构简单，运行稳定，兼容中高真空，具有广阔的应用前景。 本文在充分讨论分子/增压泵抽气原理的基础上，介绍了它的结构和性能，并对其主要性能指标进行了测试。测试结果表明，分子/增压泵在中高真空具有强劲抽速，并可以获得清洁真空。鉴于分子/增压泵已成功应用于真空镀膜领域并取得显著效果，本文深入探讨和研究了分子/增压泵在磁控溅射离子镀膜机和大型连续镀膜生产线中的应用，为其在更多真空领域的应用奠定了理论和实验基础。 分子/增压泵是新型泵种，它在每个真空技术领域的推广应用都是具有开拓性的。本课题的完成，是其产品化的一小步，却是其发展壮大的一大步。

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致谢

第一章绪论

1.1引言

1.2分子泵的分类、发展历史及前景

1.3新一代分子泵——分子/增压泵

1.3.1涡轮分子泵和复合分子泵的局限性

1.3.2分子/增压泵

1.4本课题研究的内容及意义

第二章分子/增压泵的原理、结构及性能

2.1传统分子泵的结构及其抽气原理

2.1.1涡轮分子泵的结构及其抽气原理

2.1.2传统牵引分子泵的结构及其抽气原理

2.1.3复合分子泵的结构及其抽气原理

2.2分子/增压泵的结构及其抽气原理

2.2.1概述

2.2.2分子/增压泵的基本结构

2.2.3分子/增压泵抽气原理

2.3分子/增压泵的性能

2.3.1分子/增压泵性能综述

2.3.2分子/增压泵与涡轮分子泵、罗茨泵和扩散泵的性能比较

第三章分子/增压泵性能测试

3.1分子泵测试原理

3.1.1真空泵性能表示方法

3.1.2真空泵抽速测量方法

3.2分子/增压泵性能测试

3.2.1分子/增压泵抽速测试

3.2.2分子/增压泵极限真空测试

3.2.3分子/增压泵高压强性能测试

第四章分子/增压泵的应用

4.1真空技术的应用概况

4.2真空镀膜概述

4.3分子/增压泵在箱体式磁控溅射、离子镀膜机上的应用

4.3.1概述

4.3.2分子/增压泵在镀膜机上的应用

4.3.3总结

4.4分子/增压泵在连续式磁控溅射镀膜生产线上的应用

4.4.1概述

4.4.2连续式生产线的设备结构及存在的问题

4.4.3分子/增压泵在连续式生产线上的应用分析

4.4.4实施

4.4.5总结

4.5分子/增压泵在其它真空应用领域的应用

4.5.1分子/增压泵在重离子加速器大流量差分系统中的应用

4.5.2分子/增压泵在灯管排气台中的应用

4.5.3分子/增压泵在全膜高压电容器真空浸渍中的应用

第五章总结

参考文献

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