摘要:兰州重离子加速器(HIRFL)的超重反冲核实验装置在工作的时候,需要注入100Pa的氮气作为支撑气体。与之相连的HIRFL,后束运线真空系统的真空度为10<'-5>~10<'-6>Pa,中间有7~8个数量级的真空过渡.由于束流通道较大,系统在高压强时的气体负载很大.本文通过理论计算,确定该大流量真空差分系统的差分级数;介绍超重反冲核真空差分系统的设计方案;选择能在高压强下连续运行的新型分子,增压泵替代通常采用的罗茨泵作为过渡流范围内的主排气泵,大幅度减小油蒸气对真空系统的污染,从而获得清洁的真空差分系统;介绍了分子/增压泵的性能测试结果,并根据测试结果确定工作频率;最后介绍了差分系统分别充入氮气和氦气的实验结果,并分析了实验结果和理论值之间存在一定误差的原因.