分子/增压泵抽速测试的实验研究

摘要

分子/增压泵是新一代分子泵,高压强性能优于现有分子泵,其抽速与现有分子泵相当。本文利用滴管流量计法测量了分子/增压泵的抽速,与理论设计十分接近。同时,推导了滴管流量计液柱上升高度h与时间t、流量Q的关系,由此计算了滴管流量计的最佳测试范围,与实验结果吻合。