抽速可达40米3／秒的高能力涡轮分子泵系列

摘要

本文记述了抽速为５－２０米＾３／秒（对Ｈｅ）的高可靠性涡轮分子泵及其参数，经系列泵根据双流层原理制成，其极限压强大的约为５×１０＾－８Ｐａ；压缩比为（０．６－２．１）×１０＾４（对Ｈ２）和（０．９～３．２）×１０＾５（对Ｈｅ）溅余气体的主要成分是氢气，同时，此原采用了动密封以防来自轴承装置的油渗入被抽空腔内。油通过轴承被排出，在泵设计中对其入口法兰不同位置进行了设想（角度为４５°）此系列泵对突然性