真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备

摘要

本实用新型提供一种真空分子泵抽速调节装置、真空分子泵和抽真空设备。该抽速调节装置包括固定机构和调节机构，固定机构包括入口和出口，入口和出口之间相贯通，出口端用于固定连接真空分子泵基体，且真空分子泵基体的真空抽吸口与出口之间相贯通；入口端固定连接调节机构；调节机构能够调节入口的开口尺寸，以调节真空分子泵基体的抽速。该真空分子泵抽速调节装置能使真空分子泵基体抽速的调节范围不再受限，同时还能确保真空分子泵基体的寿命最长。