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多元金属氧化物半导体气体传感器特性优化研究

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第一章 绪 论

1.1引言

1.2气体传感器概述

1.2.1气体传感器的历史和发展

1.2.2气体传感器的分类

1.2.3半导体气体传感器的评价指标

1.3基于多元金属氧化物半导体的气体传感器

1.3.1 多元金属氧化物半导体气体敏感材料

1.3.2 钙钛矿结构的气体敏感材料 (ABO3)

1.3.3尖晶石结构的气体敏感材料 (AB2O4)

1.3.4其它结构的多元金属氧化物敏感材料

1.4基于多元金属氧化物半导体气体传感器的增感方法

1.4.1形貌结构调控

1.4.2阳离子置换

1.4.3化学计量比调控

1.4.4异质结构筑和贵金属修饰

1.5本论文的选题思路及主要研究内容

第二章 锡酸盐及其复合材料的制备和气敏特性的研究

2.1引言

2.2多壳层ZnSnO3立方体材料的制备及甲醛敏感特性研究

2.2.1多壳层ZnSnO3立方体材料的制备

2.2.2 样品的表征

2.2.3 气敏特性与敏感机理分析

2.3 Mn3O4/Zn2SnO4材料的制备及丙酮敏感特性研究

2.3.1 Mn3O4/Zn2SnO4一维复合材料的制备

2.3.2 样品的表征

2.3.3 气敏特性与敏感机理分析

2.4 本章小结

第三章 铁酸盐及其复合材料的制备和气敏特性的研究

3.1引言

3.2 核-壳结构NiFe2O4的制备及丙酮敏感特性研究

3.2.1 核-壳结构NiFe2O4材料的制备

3.2.2 样品的表征

3.2.3 气敏特性与敏感机理分析

3.3 α-Fe2O3/NiFe2O4纳米管的制备及丙酮敏感特性研究

3.3.1 α-Fe2O3/NiFe2O4纳米管的制备

3.3.2 样品的表征

3.3.3气敏特性与敏感机理分析

3.4 α-Fe2O3/LaFeO3中空球的制备及乙醇敏感特性研究

3.4.1 中空结构α-Fe2O3/LaFeO3复合材料的制备

3.4.2 样品的表征

3.4.3 气敏特性与敏感机理分析

3.5 本章小结

第四章 钴酸盐及其复合材料的制备和气敏特性的研究

4.1引言

4.2 MCo2O4 (M = Mn、Ni 和Zn) 的制备及丙酮敏感特性研究

4.2.1 MCo2O4 (M = Mn、Ni 和Zn) 材料的制备

4.2.2 样品的表征

4.2.3气敏特性与敏感机理分析

4.3 ZnxCo3-xO4材料的制备及丙酮敏感特性研究

4.3.1中空立方体结构ZnxCo3-xO4材料的制备

4.3.2样品的表征

4.3.3气敏特性与敏感机理分析

4.4 PdO-NiO/NiCo2O4的制备及丙酮敏感特性的研究

4.4.1中空笼状结构PdO-NiO/NiCo2O4的制备

4.4.2样品的表征

4.4.3气敏特性与敏感机理分析

4.5 本章小结

第五章 结论与展望

参考文献

作者简历及在学期间科研成果

致 谢

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著录项

  • 作者

    周婷婷;

  • 作者单位

    吉林大学;

  • 授予单位 吉林大学;
  • 学科 微电子学与固体电子学
  • 授予学位 博士
  • 导师姓名 张彤;
  • 年度 2020
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TN4TN3;
  • 关键词

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