声明
第一章 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 本课题的研究意义
1.3 本文的内容及安排
第二章 冷阴极中和电子源相关理论概述及基本结构
2.1 中和电子源的相关理论概述
2.2 中和电子源的基本结构
2.3 本章小结
第三章 冷阴极阵列设计、制备与性能研究
3.1 冷阴极阵列设计
3.2内栅型阴极的制备工艺
3.3阴极制备参数对尖锥形貌的影响
3.4 阴极性能测试
3.5 本章小结
第四章 冷阴极中和电子源结构设计与仿真
4.1 仿真流程简介
4.2 仿真模型搭建与材料参数的设定
4.3 等效发射面的选择对电子束轨迹的影响
4.4 聚焦与加速结构仿真
4.5 磁偏转结构设计
4.6 本章小结
第五章 电推进器冷阴极中和电子源的组装与测试
5.1 电子源零件的预处理及组装
5.2 中和电子源发射性能测试
5.3 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 工作总结
6.2 未来展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的成果
电子科技大学;