恒拉速工艺下硅单晶直径控制方法研究

目录

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1 绪论

1.1研究背景及意义

1.2直拉硅单晶生长简介

1.3直拉硅单晶生长建模与控制研究现状

1.3.1直拉硅单晶生长建模研究现状

1.3.2直拉硅单晶生长控制研究现状

1.4论文主要内容和章节安排

2 直拉硅单晶生长原理

2.1晶体生长过程关键变量分析

2.1.1加热器功率对晶体直径的影响

2.1.2 提拉速度对晶体直径的影响

2.2 恒拉速工艺与晶体品质

2.3 恒拉速生长控制策略

2.4本章小结

3 基于VMD-LSTM-ELM的非线性集成建模方法

3.1变分模态分解

3.2长短期记忆网络

3.3基于CGWO优化的ELM网络

3.3.1极限学习机

3.3.2灰狼优化算法

3.4仿真测试

3.5本章小结

4 等径阶段晶体直径混合建模过程

4.1基于VMD-LSTM-ELM的热场温度模型

4.1.1实验数据和模型评价

4.1.2模型结构辨识

4.1.3模型结构辨识结果

4.1.4模型建立及预测性能

4.2晶体直径混合模型

4.2.1提拉动力学模型

4.2.2晶体直径混合模型验证

4.3本章小结

5 恒拉速工艺下硅单晶直径控制

5.1无模型自适应滑模控制

5.1.1无模型自适应控制

5.1.2 MFASMC控制方案

5.1.3仿真实验

5.2无模型自适应滑模预测控制

5.2.1 MFASMPC控制方案

5.2.2仿真实验

5.2.3多参数灵敏度分析

5.2.4硅单晶直径控制仿真实验

5.3双闭环硅单晶直径控制方案

5.3.1双闭环硅单晶直径控制结构

5.3.2仿真实验

5.4本章小结

6 总结与展望

6.1工作总结

6.2研究展望

致谢

参考文献