基于PDMS薄膜的全固态可变焦微透镜驱动结构研究

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学位论文答辩信息表

第一章 绪论

1.1可变焦微透镜的研究背景

1.2 可变焦微透镜的研究和发展现状

1.3本论文主要研究内容和章节分布

第二章 PDMS的特性分析及COMSOL仿真软件的简介

2.1 PDMS（聚二甲基硅氧烷）的特性分析

2.2 COMSOL软件的简介和基本分析方法

2.3 本章小结

第三章 基于静电驱动的PDMS可变焦微透镜

3.1静电驱动微透镜的结构设计和工作原理

3.2静电驱动微透镜的COMSOL仿真

3.3 本章小结

第四章 基于压电驱动的PDMS可变焦微透镜

4.1压电驱动微透镜的结构设计和工作原理

4.2压电驱动微透镜的COMSOL仿真

4.3压电驱动微透镜的ZEMAX仿真

4.4本章小结

第五章 可变焦微透镜的制作及测试

5.1手动驱动的可变焦微透镜制作工艺研究及制作

5.2 压电驱动器结构的研究

5.3 压电驱动器的微透镜的工艺研究及制作

5.4光学平台搭建和成像实验

5.5 本章小结

第六章 总结和展望

6.1 工作总结

6.2 工作展望

参考文献

攻读学位期间取得的科研成果

致谢