声明
摘要
第一章绪论
1．1选题来源及研究意义
1．2国内外研究现状
1．2．1 XCTD研究现状
1．2．2水下压力测量技术发展现状
1．2．3水下压力测量技术小结
1．3压阻式压力传感技术发展历程
1．4本文主要研究内容
第二章背景及原理
2．1海水深度与海水压力换算关系
2．2压阻式压力传感元件工作原理
2．2．1压阻效应
2．2．2惠斯通电桥
2．2．3薄膜小挠度弯曲理论
2．3复合量程硅压阻式压力传感技术
2．3．1压阻式压力传感元件设计原则
2．3．2复合量程硅压阻式压力传感技术
2．3．3三层复合材料平板模型
2．4伯努利方程与皮托管流速仪
2．4．1对受水平流速影响的深度测量结果修正
2．4．2对受垂直流速影响的深度测量结果修正
2．5本章小节
第三章压阻式压力传感元件仿真及分析
3．1压力传感元件敏感膜片
3．1．1膜片形状及类型
3．1．2三层复合材料平板理论
3．1．3三层复合材料平板理论挠度规律分析
3．1．4多层复合膜片平板理论挠度分布对比
3．1．5三层复合材料平板理论应力规律分析
3．1．6多层复合膜片平板理论应力分布对比
3．1．7三种分析方法的规律性和有效性总结
3．1．8有限元分析模型
3．2压阻式压力传感元件结构设计与仿真
3．2．1膜片尺寸
3．2．2压敏电阻
3．2．3惠斯通电桥
3．2．4压敏电阻位置及容差分析
3．3本章小节
第四章复合量程压力传感技术
4．1．2复合量程级联方式选择
4．1．3应力补偿结构
4．2压阻式压力传感元件阵列设计参数
4．3．1阵列式分布及压敏电阻版图设计
4．3．2重掺杂区域和引线通孔版图设计
4．3．3金属焊盘及引线版图设计
4．3．4切割抛磨区版图设计
4．3．5完整的压力传感元件阵列版图设计
4．3．6玻璃基底应力补偿结构版图设计
4．4水下移动观测平台深度测量结果修正
4．4．1水平流速和垂直流速对深度测量结果的影响
4．4．2分布式压力传感元件阵列及其作用
4．5本章小结
第五章总结与展望
5．1工作总结
5．2工作展望
参考文献
致谢
第六章攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况
山东大学;
