基于钽酸锂薄膜的红外探测传感器研究

目录

声明

摘要

附录

1．1研究背景

1．2红外探测器

1．2．1光子探测器

1．2．2热探测器

1．3热释电探测器研究

1．3．1热释电探测器发展历程

1．3．2热释电探测器研究现状

1．3．3热释电探测器发展趋势

1．4本文阐述内容与创新

第二章物理背景与实验技术

2．1 LiTaO3晶体与热释电效应

2．2热释电探测工作原理

2．3热释电探测器的响应率

2．3．1电流响应率

2．3．2电压响应率

2．4热释电探测器的噪声

2．5微纳加工制造与测试技术

2．5．1激光直写技术

2．5．2真空蒸发镀膜技术

2．5．3静电雾化／纺丝技术

2．5．4脉冲红外测试平台

2．6本章小结

第三章热释电探测器多元阵列结构的设计与制备

3．1 LT薄膜材料物理特性的表征

3．1．1 LT薄膜材料XRD测试结果

3．1．2 LT薄膜表面AFM测试结果

3．2基于钽酸锂薄膜的多元探测阵列结构设计

3．3基于钽酸锂薄膜的多元探测阵列制备工艺

3．4探测阵列绝热结构设计与线路引出

3．5本章小结

第四章红外吸收层的研究

4．1碳黑红外吸收层的实验室制备

4．2碳黑红外吸收层物理性能表征

4．2．1制备时间对吸收层表面形貌的影响

4．2．2碳黑吸收层的红外吸收率

4．3碳黑红外吸收层制备时间优化

4．4本章小结

第五章热释电器件测试与特性分析

5．1探测阵列在近红外波段的分区域电压响应特性

5．2探测阵列在不同脉冲频率下的电压响应特性

5．3基于钽酸锂薄膜的热释电红外探测阵列性能分析

5．4本章小结

第六章总结与展望

6．1全文总结

6．2工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士期间获得的研究成果