声明
1 绪 论
1.1金属氧化物气敏传感器概述
1.2 二维硫属化物气敏传感器概述
1.3 SnSe2材料研究现状
1.4二维半导体异质结气敏传感器概述
1.5本文研究目的、意义及研究内容
2 基于SnSe2及其异质结气敏传感器制备
2.1 制备气敏材料
2.2 制作传感器测试台
3 SnSe2及其异质结的表征与分析
3.1 TGA/DSC表征结果分析
3.2 SEM/EDS表征结果分析
3.3 TEM/AFM表征结果分析
3.4 XRD/Raman表征结果分析
3.5 XPS表征结果分析
3.6 I-V曲线结果分析
4 SnSe2及其异质结气敏性能和机理分析
4.1 气敏测试系统简介
4.2 SnSe2材料的气敏性能
4.3 SnSe2/SnO2异质结的气敏性能
4.4 SnSe2及其异质结传感器性能对比
4.5 SnSe2及其异质结气敏特性的机理分析
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
大连理工大学;