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【6h】

二维SnSe2及其异质结半导体气敏性能研究

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1 绪 论

1.1金属氧化物气敏传感器概述

1.2 二维硫属化物气敏传感器概述

1.3 SnSe2材料研究现状

1.4二维半导体异质结气敏传感器概述

1.5本文研究目的、意义及研究内容

2 基于SnSe2及其异质结气敏传感器制备

2.1 制备气敏材料

2.2 制作传感器测试台

3 SnSe2及其异质结的表征与分析

3.1 TGA/DSC表征结果分析

3.2 SEM/EDS表征结果分析

3.3 TEM/AFM表征结果分析

3.4 XRD/Raman表征结果分析

3.5 XPS表征结果分析

3.6 I-V曲线结果分析

4 SnSe2及其异质结气敏性能和机理分析

4.1 气敏测试系统简介

4.2 SnSe2材料的气敏性能

4.3 SnSe2/SnO2异质结的气敏性能

4.4 SnSe2及其异质结传感器性能对比

4.5 SnSe2及其异质结气敏特性的机理分析

结论

参考文献

攻读硕士学位期间发表学术论文情况

致谢

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著录项

  • 作者

    李欣宇;

  • 作者单位

    大连理工大学;

  • 授予单位 大连理工大学;
  • 学科 电子科学与技术
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 刘航;
  • 年度 2020
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

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