激光CVD外延生长NdBCO超导薄膜的研究

目录

声明

第一章 绪 论

1.1 引言

1.2 超导材料的发展历程

1.3 高温超导材料的应用现状与研究意义

1.3.1 高温超导材料的应用现状

1.3.2 高温超导材料的研究意义

1.4 NdBCO的结构与制备方法

1.4.1 NdBCO的晶体结构

1.4.2 NdBCO薄膜的制备方法

1.5 本论文研究内容与创新点

1.5.1 研究内容

1.5.2 创新点

第二章 实验与测试

2.1 实验原料

2.1.1 衬底材料

2.1.2 前驱体

2.1.3 气体

2.2 实验方法与设备

2.2.1 激光化学气相沉积方法

2.2.2 激光化学气相沉积设备介绍

2.3 NdBCO外延薄膜制备技术路线

2.4 NdBCO薄膜的测试与表征

2.4.1 结构分析

2.4.2 形貌分析

2.4.3 性能测试

第三章 MOCVD外延生长NdBCO超导薄膜

3.1 前驱体挥发组分外延生长NdBCO薄膜的影响

3.1.1 不同前驱体摩尔挥发比例下制备NdBCO薄膜的工艺条件

3.1.2 前驱体摩尔挥发比例对制备NdBCO薄膜膜内组分的影响

3.1.3 前驱体摩尔挥发比例对制备NdBCO薄膜物相及取向的影响

3.1.4 前驱体摩尔挥发比例对制备NdBCO薄膜微观结构的影响

3.2 沉积温度对外延生长NdBCO薄膜的影响

3.2.1 不同沉积温度下制备NdBCO薄膜的工艺条件

3.2.2 沉积温度对NdBCO薄膜生长取向的影响

3.2.3 沉积温度对NdBCO薄膜微观结构的影响

3.3 沉积压强对外延生长NdBCO薄膜的影响

3.3.1 不同沉积压强下制备NdBCO薄膜的工艺条件

3.3.2 沉积压强对NdBCO薄膜生长取向的影响

3.4 沉积距离外延生长NdBCO薄膜的影响

3.4.1 不同沉积距离下制备NdBCO薄膜的工艺条件

3.4.2 不同沉积距离对NdBCO薄膜物相和生长取向的影响

3.4.3 不同沉积距离对NdBCO薄膜微观结构的影响

3.5 本章小结

第四章 激光CVD外延生长NdBCO超导薄膜

4.1 沉积温度对外延生长NdBCO薄膜的影响

4.1.1 不同沉积温度下制备NdBCO外延薄膜的工艺参数

4.1.2 沉积温度对制备NdBCO外延薄膜的生长取向的影响

4.1.3 沉积温度对制备NdBCO外延薄膜的形貌的影响

4.1.4 沉积温度对制备NdBCO外延薄膜的超导性能的影响

4.2 氧分压对外延生长NdBCO薄膜的影响

4.2.1 不同氧分压下制备NdBCO外延薄膜的工艺参数

4.2.2 氧分压对NdBCO薄膜的物相及生长取向的影响

4.2.3 氧分压对NdBCO薄膜的微观形貌的影响

4.3 厚度对外延生长NdBCO薄膜的影响

4.3.1 激光CVD制备不同厚度NdBCO外延薄膜的工艺参数

4.3.2 激光CVD对 NdBCO外延薄膜厚度的控制及沉积速率

4.3.3 NdBCO薄膜厚度对其生长取向的影响

4.3.4 NdBCO薄膜厚度对其微观结构的影响

4.3.5 NdBCO薄膜厚度对其应变弛豫的影响

4.4 激光CVD与MOCVD外延生长NdBCO薄膜的对比

4.4.1 MOCVD与激光CVD的沉积原理对比

4.4.2 MOCVD与激光CVD的结构对比

4.5 本章小结

第五章 结 论

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间发表论文、申请专利情况