第1 章绪 论
1.1 课题背景及意义
1.2 AFM热探针加工纳米点理论模型研究现状
1.3基于旋涂法制备PMMA薄膜工艺研究现状
1.3.1基底材料的选择对于PMMA薄膜形貌的影响
1.3.2旋涂参数对于PMMA薄膜厚度的影响
1.3.3烘干环境对于PMMA薄膜质量的影响
1.4热探针加工纳米结构研究现状
1.4.1一维纳米结构
1.4.2二维纳米结构
1.4.3三维纳米结构
1.5国内外文献综述简析
1.6本文的主要研究内容
第2 章热探针在聚合物薄膜表面加工纳结构机理研究
2.1 引言
2.2 基于 AFM热探针的热力耦合方法加工纳米结构原理
2.3 AFM热探针与样品之间热传导模型的建立
2.4 AFM热探针在聚合物表面加工纳米点过程模型建立
2.4.1 纳米点加工过程探针与样品接触热传导模型建立
2.4.2 纳米点体积预测模型建立
2.5 AFM热探针在聚合物表面刻划加工纳米沟槽过程模型建立
2.5.1热力耦合刻划加工沟槽深度预测模型建立
2.5.2 热力耦合刻划加工沟槽深度影响因素研究
2.6 本章小结
第3 章 PMMA 薄膜制备工艺研究及性能表征分析
3.1引言
3.2 PMMA薄膜制备方法研究
3.3 PMMA薄膜力学性能表征方法研究
3.4溶胶浓度对于PMMA薄膜性能的影响研究
3.5旋涂速度对于PMMA薄膜性能的影响研究
3.6溶剂种类对于PMMA薄膜性能的影响研究
3.7溶质分子量对于PMMA薄膜性能的影响研究
3.8本章小结
第4 章热探针在聚合物表面加工典型结构工艺研究
4.1引言
4.2 AFM热探针加工校准方法研究
4.3 AFM热探针在 PMMA薄膜表面加工纳米点阵工艺研究
4.4 AFM热探针在 PMMA薄膜表面加工纳米沟槽工艺研究
4.4.1热力耦合作用对刻划结构形貌的影响
4.4.2热力耦合刻划对探针受到摩擦力的影响
4.5AFM热探针在 PMMA薄膜表面加工纳结构理论模型实验验证
4.5.1纳米点体积理论预测模型实验验证
4.5.2纳米沟槽深度理论预测模型实验验证
4.6本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
声明
致 谢
哈尔滨工业大学;
