机译:使用基于AFM尖端的动态犁光刻方法在PMMA薄膜上用大半径探针制造无脊纳米槽
Harbin Inst Technol, Robot Inst, State Key Lab Robot & Syst, Harbin 150080, Heilongjiang, Peoples R China|Harbin Inst Technol, Ctr Precis Engn, Harbin 150001, Heilongjiang, Peoples R China;
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AFM; Dynamic plowing lithography (DPL); PMMA thin-film; Nanogroove;
机译:基于AFM尖端的动态犁刻蚀技术在聚合物薄膜上制备高通量纳米坑
机译:基于原子力显微镜针尖的直接和振动辅助刮擦方法对聚合物抗蚀剂纳米凹槽制造的影响
机译:通过相位模式AFM光刻制造亚微米尺寸MOS_2薄膜晶体管的制造
机译:基于TIP的微细加工技术制备PMMA中的微通道-深度和摩擦分析
机译:集成有用于微型四点探针和SECM-AFM的电极的原子力显微镜探针的制造。
机译:基于AFM尖端的动态犁光刻技术在聚合物薄膜上制备高通量纳米级坑
机译:使用基于AFM尖端的动态犁光刻技术在聚合物薄膜上以高通量制备纳米级凹坑