低气压双频容性耦合氮气/氧气等离子体特性研究

目录

声明

第1章 绪论

1. 1 等离子体概述

1. 2 气体放电产生等离子体的方法

1. 3 等离子体增强化学气相沉积技术

1.4 低气压双频容性耦合放电(DF-CCP)研究现状

1.5 低气压双频容性耦合放电(DF-CCP)的应用

1. 6 本文的主要研究内容

参考文献

第2章 实验装置及基本原理

2. 1 实验装置

2. 2 光谱仪系统

2. 3 双谱线强度比值法诊断电子激发温度

2. 4 发射光谱法诊断分子振动温度、转动温度

2. 5 连续光谱绝对强度法

参考文献

第3章 双频容性耦合氮气等离子体放电特性

3. 1 引言

3. 2 纯N2发射光谱分析

3. 3 电子激发温度分析

3. 4 氮气分子振动温度Tv和转动温度Tr分析

3. 5 本章小结

参考文献

第4章 双频容性耦合氧气等离子体放电特性

4. 1 引言

4. 2 纯O 2发射光谱分析

4. 3 电子激发温度分析

4. 4 电子密度分析

4. 5 本章小结

参考文献

第5章 总结与展望

5. 1 总结

5. 2 展望

致谢

个人简历、在学期间发表的学术论文及获得的奖励