声明
插图索引
表格索引
符号对照表
缩略语对照表
第一章 绪论
1.1 研究背景与意义
1.2 Si上Ge外延生长技术国内外研究进展
1.3 本文的主要工作
第二章 Si上Ge激光再晶化理论与建模
2.1 传热学原理
2.2 基于FDTD的激光吸收与反射建模
2.3 基于COMSOL的有限元建模
2.4 本章小结
第三章 Si上Ge激光再晶化热物理模型
3.1 Ge/Si外延层FDTD仿真结果与讨论
3.2 Ge/Si外延层COMSOL仿真结果与讨论
3.3 GeOI激光再晶化相关模型
3.4 本章小结
第四章 激光再晶化Si-Ge相互扩散研究
4.1 Si-Ge相互扩散机制
4.2 Si-Ge相互扩散建模
4.3 Si-Ge相互扩散Sentaurus工艺仿真
4.4 本章总结
第五章 总结与展望
参考文献
致谢
作者简介
