分布式MEMS移相器优化与分析

摘要

移相器广泛应用于相控阵雷达、电子对抗、微波通信等领域,移相器的性能对整个系统的性能起着重要作用。传统的移相器具有尺寸大、功耗高、成本高等缺点,无法满足电子通信系统的快速发展。MEMS移相器具有高品质因数、高隔离度、低成本、低损耗、易于集成等优点,是现在国内外研究的热点。
　　本论文主要以分布式MEMS移相器为研究对象,深入分析了MEMS移相器的移相单元即MEMS开关,对MEMS开关进行优化设计,电磁仿真及失效机理分析。主要内容有:
　　1.介绍了MEMS移相器的分类和国外MEMS移相器的发展现状。
　　2.对分布式MEMS移相器的工作原理进行讨论,并对影响分布式MEMS移相器的主要参数进行了分析。
　　3.对MEMS开关的电路模型进行仿真分析,并对分布式MEMS移相器的布拉格频率进行仿真分析。
　　4.对影响MEMS开关下拉电压的参数进行分析,设计MEMS开关模型并且进行了优化,在此基础上设计了五位移相器。
　　5.对MEMS移相器的失效机理进行分析。

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第一章 绪 论

1.1 RF MEMS技术

1.2 RF MEMS移相器

1.3 RF MEMS移相器的分类

1.4 本文选题和研究内容

第二章 分布式MEMS移相器的性能分析

2.1 分布式 MEMS移相器理论基础

2.2分布式MEMS移相器的主要参数

2.3 损耗

2.4分布式MEMS移相器的设计过程

2.5 本章小结

第三章 分布式RF MEMS移相器仿真

3.1 共面波导参数设计

3.2 MEMS开关仿真分析

3.3 布拉格频率仿真

3.4 本章小结

第四章 分布式MEMS移相器模型设计

4.1 MEMS开关桥的设计

4.2 MEMS开关设计和优化

4.3 分布式MEMS移相器的设计

4.4 本章小结

第五章 MEMS移相器失效分析

5.1 设计阶段失效模型

5.2 制造中的失效模式

5.3 机械失效模式

5.4电失效模式

5.5 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 工作总结

6.2 后续工作展望

致谢

参考文献

在学期间的研究成果