第一个书签之前
第一章 绪 论
1.1 非制冷红外探测器概述
1.2 热释电探测器简介
1.2.1 热释电探测器的工作原理
1.2.2 热释电探测器结构
1.2.3 热释电材料
1.2.4 绝热结构
1.2.5 热释电多元探测器简介
1.3 热释电探测器国内外研究现状
1.3.1 针对热释电敏感元的研究现状
1.3.2 针对绝热结构与集成方式的研究现状
1.4 本论文的研究意义及主要工作
第二章 实验方案及原理
2.1 热释电探测器的设计方法
2.2 热释电探测器制备工艺
2.2.1 敏感元加工技术
2.2.2 敏感元与绝热结构集成技术
2.2.3 红外吸收层制备技术
2.3 热释电探测器微观分析与性能表征
2.3.1 扫描电子显微镜（SEM）
2.3.2 探针式表面轮廓仪
2.3.3 热释电探测器的主要性能参数和表征方式
第三章 热释电探测器的基本结构与制备工艺研究
3.1 热释电探测器的基本结构
3.2 热释电探测器的有限元热学仿真
3.3 热释电探测器制备工艺流程
3.4 电极图形化工艺参数研究
3.5 热释电探测器集成工艺研究
3.5.1 涂胶时间对键合效果的影响
3.5.2 涂胶转速对器件性能的影响
3.6 本章小结
第四章 LiTaO3多元热释电探测器的结构优化
4.1 空气隙结构对探测器性能的影响
4.2 横向绝热结构对探测器性能的影响
4.2.1 LiTaO3刻蚀工艺研究
4.2.2 横向绝热结构宽度对探测器性能的影响
4.2.3 横向绝热结构深度对探测器性能的影响
4.3 多元探测器的制备与测试
4.4 本章小结
第五章 结论与展望
致 谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的成果
