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声明
第一章引言
1.1流体测量与流体主动控制技术
1.2基于MEMS技术的流体测量与流体主动控制技术的研究进展
1.2.1国外研究现状及其分析
1.2.2国内研究现状及其分析
1.3本课题的意义及研究目标
1.4本论文的主要研究内容
参考文献
第二章微型热剪切应力传感器和微型振动射流执行器的测量和控制原理
2.1基于热敏电阻的微型热剪切应力传感器的测量原理
2.2微型振动射流执行器的壁面减阻原理和驱动原理
2.2.1微型振动射流执行器在飞行器壁面减阻应用中的控制原理
2.2.2基于静电驱动的微型振动射流执行器的驱动原理
2.3微传感器,微执行器和控制电路组成的飞行器壁面减阻控制系统
参考文献
第三章微型热剪切应力传感器的设计、制作与测试
3.1微型热剪切应力传感器的设计
3.1.1传感器的结构设计与仿真
3.1.2传感器材料的选择
3.2微型热剪切应力传感器的制作工艺
3.2.1传感器制作关键工艺研究
3.2.2传感器制作工艺流程
3.3微型热剪切应力传感器的测试
3.3.1温度电阻系数
3.3.2绝热性能测试
3.3.3响应频率和时间常数
3.3.4风洞实验
参考文献
第四章微型振动射流执行器的设计、制作和测试
4.1微型振动射流执行器的结构设计
4.1.1执行器的设计和仿真
4.1.2执行器材料的选择
4.2微型振动射流执行器的制作工艺
4.2.1执行器制作关键工艺研究
4.2.2执行器制作工艺流程
4.3微型振动射流执行器的测试
4.3.1外加电压下执行器振动片的偏移位移
4.3.2显微镜下拍摄到的执行器一个周期内的上下振动
4.3.3后续工作
参考文献
第五章结论
5.1结论
5.2后续工作
致谢
攻读硕士学位期间发表论文和所受奖励