MEMS技术在流体控制中的应用

摘要

微机电系统(MEMS:Micro E1ectro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(Micromachined Tranducers)技术,它是在微电子技术的基础上发展起来的,融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术,并利用IC技术把控制和信号处理电路与机械部件集成的微型系统.这种技术所涉及的器件的特征尺寸一般小于1 mm而大于1 μm,它为流体控制研究开辟了一个崭新的领域.简述了流体控制技术的基本原理以及应用MEMS技术实现流体控制的机理和途径,分别介绍了国外研究机构近年来在微传感、微执行技术的研究工作.