声明
摘要
§1．1引言
§1．2相干衍射成像技术
§1．2．1平面波CDI
§1．2．2布拉格CDI
§1．2．3菲涅尔CDI
§1．2．4扫描CDI
§1．3本论文的主要研究工作
第二章相干衍射成像理论基础
§2．1．1平面屏衍射问题的近似处理
§2．1．2非严格远场近似的扫描相干衍射成像
§2．2相干衍射成像中的相位问题
§2．2．1相位丢失
§2．2．2相位恢复
§2．2．3过采样理论
§2．3扫描相干衍射成像中的相位恢复问题
§2．4本章小结
第三章三维扫描相干衍射成像
§3．1已有三维扫描相干衍射成像方法
§3．1．1扫描相干衍射成像与计算机断层成像技术结合
§3．1．2以多层成像代替旋转样品的三维扫描相干衍射成像方法
§3．2以级联扫描方式实现样品多层层析成像的伪三维扫描相干衍射成像方法
§3．2．1实验设置及数据采集
§3．2．2重建算法
§3．2．3数值模拟
§3．2．4以可见光激光为光源进行实验验证
§3．2．5降低邻域线性重叠率以控制样品所受辐射剂量
§3．2．6并行cPIE算法
§3．2．7级联扫描相干衍射成像中样品层数拓展
§3．3总结
§4．1引言
§4．2利用光产生器件的强散射特性增强扫描相干衍射成像方法的成像能力
§4．2．1扫描探针光斑和探针光斑产生器件的衍射图之间的相似性
§4．2．2使用探针光斑产生器件的强散射特性提高成像质量
§4．2．3基于激光光源的实验验证
§4．2．4基于同步辐射X射线光源的实验验证
§4．2．5新方法在低邻域线性重叠率下的表现
§4．2．6分析与总结
§4．2．7补充内容：重建算法流程图
§4．3通过消除样品表面起伏导致的各扫描位置处光斑形貌的不一致性提高扫描相干衍射成像质量
§4．3．1样品表面起伏导致的各扫描位置处光斑形貌不一致
§4．3．2带有探针光斑轴向传输矫正的扫描相干衍射成像重建算法
§4．3．3以同步辐射X射线为光源的验证实验
§4．3．4小结
§4．4总结
§5．1引言
§5．2 PR-PIE算法
§5．2．1探针光斑替换部分
§5．2．2附加模式(ghost mode)去噪部分
§5．2．3光谱信息重建
§5．3以阿秒EUV为光源的数值模拟实验
§5．4以白光LED为光源验证PR-PIE算法的成像及光谱重建效果
§5．5总结
§6．1主要结论
§6．2创新点
§6．3下一步工作
参考文献
教育经历
攻读学位期间发表论文
攻读学位期间参与的项目
致谢
附录
