声明
1 绪论
1.1 磁电效应及磁电复合材料
1.2 薄膜磁电复合结构的研究现状
1.3 选题目的及研究内容
2 微桥薄膜磁电传感器单元的设计
2.1 微桥结构的设计
2.2 压电和磁致伸缩材料的选择
2.2.1 压电材料
2.2.2 磁致伸缩材料
2.3 微桥结构的仿真及优化
2.3.1 有限元理论模型
2.3.2 功能层长度对输出响应的影响
2.3.3 衬底厚度对输出响应和谐振频率的影响
2.4 本章小结
3 微桥薄膜磁电传感器阵列的制备及表征
3.1 压电材料的制备及表征
3.1.1 PZT薄膜的制备
3.1.2 PZT薄膜的表征
3.2磁致伸缩材料的制备及表征
3.3 薄膜磁电传感器阵列的制备
3.3.1 衬底与底电极的准备
3.3.2 PZT薄膜的制备
3.3.3 PZT薄膜的刻蚀
3.3.4 底电极的刻蚀
3.3.5 绝缘层的制备
3.3.6 FeCoSiB薄膜的制备
3.3.7 衬底的刻蚀
3.3.8 引线连接
3.4 本章小结
4 微桥薄膜磁电传感器阵列的实验研究
4.1 串并联磁电阵列响应模型
4.2 磁电性能测试原理
4.3 测试系统误差分析
4.4 磁电单元性能测试
4.5 磁电阵列性能测试
1) 串联阵列
2) 并联阵列
4.6本章小结
5 总结与展望
5.1 全文总结
5.2 创新点
5.3 下一步工作展望
致谢
参考文献
附录 攻读硕士学位期间发表论文目录
