一种微桥结构红外探测器的制备方法和微桥结构

摘要

本发明涉及一种微桥结构红外探测器的制备方法和微桥结构，该方法包括：在红外探测器读出电路基底上依次沉积金属反射层、牺牲层，并在牺牲层上刻蚀PI孔，PI孔位于读出电路引出电极上；在牺牲层上依次沉积支撑层、热敏层和保护层；在PI孔内制备通孔并在保护层上制备接触孔；在保护层上沉积电极层金属并在PI孔和通孔中填充桥墩结构的U型金属，并通过光刻和蚀刻的方法形成U型金属结构；在电极层金属上进行光刻和刻蚀；在器件表面沉积钝化层，并对该钝化层进行光刻和刻蚀形成钝化层图形；进行牺牲层释放，形成微桥结构。本发明采用U型填充方法，使用Al作为填充材料，易于溅射沉积，刻蚀方便，探测器的绝热性能优于铜填充工艺，且不需要CMP步骤。