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致谢
摘要
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表格清单
第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 研究意义
1.3 国内外研究现状
1.4 本文内容概述
第二章 三维集成电路
2.1 三维集成电路发展背景
2.2 三维集成电路制造流程
2.3 三维集成电路堆叠方式
2.4 三维集成电路的良品率损失
2.5 三维集成电路的优点与挑战
2.6 TSVs概述
2.6.1 TSVs制造流程
2.6.2 TSVs故障
2.6.3 TSVs故障分布的聚类效应
2.6.4 TSVs容错现状及成果
2.7 本章小结
第三章 基于对角线冗余的TSVs修复方案
3.1 背景知识
3.2 基于对角线冗余的TSVs修复结构
3.3 TSVs冗余修复算法
3.4 实验结果与分析
3.4.1 修复率分析
3.4.2 面积开销分析
3.5 本章小结
第四章 基于信号时延的TSVs容错方案
4.1 背景知识
4.1.1 TSVs布局方式
4.1.2 信号时延
4.2 基于信号时延的容错方案
4.3 实验结果与分析
4.3.1 硬件开销
4.3.2 信号时延
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况