封面
声明
目录
中文摘要
英文摘要
第一章 绪论
1.1 课题的来源与意义
1.2 烧结碳化硅光学零件加工研究现状
1.3 烧结碳化硅光学零件氧化辅助抛光的可行性分析
1.4 本研究的主要内容
第二章 烧结碳化硅氧化过程建模与分析
2.1 基于扩散原理的氧化过程分析
2.2 阳极氧化过程建模与分析
2.3 等离子体氧化过程建模与分析
2.4 热氧化过程建模与分析
2.5 本章小结
第三章 烧结碳化硅氧化辅助抛光实验系统设计与优化
3.1 阳极氧化辅助抛光系统设计与优化
3.2 等离子体氧化辅助抛光系统设计与优化
3.3 热氧化辅助抛光系统选型与设计
3.4 本章小结
第四章 烧结碳化硅氧化表面形貌特征检测与分析
4.1 阳极氧化表面形貌特征检测与分析
4.2 等离子体氧化表面形貌特征检测与分析
4.3 热氧化表面形貌特征检测与分析
4.4 本章小结
第五章 烧结碳化硅氧化辅助抛光加工特性的实验研究
5.1 阳极氧化辅助抛光加工特性的实验研究
5.2 等离子体氧化辅助抛光加工特性的实验研究
5.3 热氧化辅助抛光加工特性的实验研究
5.4 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
致谢
参考文献
作者在学期间取得的学术成果