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【2h】

Efficient processing of reaction-sintered silicon carbide by anodically oxidation-assisted polishing

机译：通过阳极氧化辅助抛光高效地处理反应烧结碳化硅

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Qunzhang Tu; Xinmin Shen; Jianzhao Zhou; Xiaohui He; Kazuya Yamamura;
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年度 2015
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