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摘要
第一章 综述
1.1 纳米位移台
1.2 纳米测量技术
1.2.1 纳米测量方法
1.2.2 纳米测量的溯源
1.3 纳米台的多自由度测量
1.4 论文的研究内容及组织结构
1.5 本章小结
第二章 纳米位移台六自由度校准系统的构建
2.1 干涉仪介绍
2.1.1 激光外差干涉原理
2.1.2 HSPMI高稳定性平面镜干涉仪
2.1.3 紧凑型3轴高稳定性平面镜干涉仪
2.1.4 测角原理
2.2 校准系统光路布局设计
2.3 机械结构设计
2.3.1 总体设计
2.3.2 Z轴光路龙门结构设计
2.3.3 纳米台调整机构设计
2.3.4 系统质心和支脚位置仿真
2.4 检测能力和指标
2.4.1 位移量程
2.4.2 位移分辨率
2.4.3 角度量程
2.4.4 角度分辨率
2.4.5 最大测量速度
2.5 波长补偿仪
2.6 本章小结
第三章 软件程序设计
3.1 程序总体方案设计
3.2 信号采集处理
3.2.1 ZMI4004测量板
3.2.2 ZMI4004的VME总线接口
3.3 基于VME总线的VC++程序编写
3.3.1 VME总线概括
3.3.2 VME总线与PCI总线
3.3.3 VME总线编程
3.4 本章小结
第四章 实验及误差分析
4.1 一维激光干涉纳米位移校准系统的构建
4.2 纳米位移台五自由度校准系统测试实验
4.2.1 X轴运动时纳米台5自由度的测试
4.2.2 Y轴运动时纳米台5自由度的测试
4.3 系统误差分析
4.3.1 环境误差
4.3.2 原理误差
4.3.3 非线性误差
4.3.4 平面镜正交误差
4.3.5 阿贝误差
4.4 本章小结
第五章 总结展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
附录一
攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果
致谢