新型纳米分辨率位移定位平移台的研制

摘要

为克服已有压电驱动器存在的结构及控制系统复杂、定位行程小等缺陷,利用压电陶瓷的逆压电效应设计并制作了一种新型的压电纳米步进驱动器,建立光栅测试系统对这种压电驱动器的动态性能进行了测试,将压电纳米步进驱动器与电磁伺服马达耦合,设计新颖驱动结构,利用微机通过步进运动控制卡统一控制,实现大范围一维纳米分辨率位移定位,系统样机解决了所研制压电纳米步进驱动器双向运动、实用定位等问题,位移定位分辨率为50 nm,定位行程为100 mm,纳米分辨率定位最大速度为0.6 mm/s.