封面
声明
中文摘要
英文摘要
缩写编号以及符号对应表
目录
第一章 绪 论
1.1 前言
1.2 液晶显示技术的发展史
1.3 TFT-LCD的主要特点
1.4 液晶显示面板尺寸的发展
1.5 本论文的研究内容及意义
第二章 TFT的结构、工作原理与驱动
2.1 TFT的结构
2.2 TFT的工作原理
2.3 TFT结构中功能薄膜的特点
2.4 TFT-LCD的驱动原理
2.5 本章小节
第三章 TFT LCD显示原理及四次光刻掩模设计
3.1 TFT LCD基本结构与显示原理
3.2 光刻工艺技术的发展
3.3 本章小节
第四章 四次光刻技术的工艺开发
4.1 四次光刻技术的工艺开发流程
4.2 四次光刻技术工艺开发中的案例研究
4.3 本章小节
第五章 总 结
参考文献
致谢
天津大学;