声明
摘要
第1章 绪论
1.1 纳米科技概述
1.2 纳米制造及其应用
1.2.1 纳米制造在电学、光学、磁学等领域的应用
1.2.2 纳米制造在其他领域中的应用
1.3 纳米加工方法及其研究现状
1.3.1 刻蚀工艺
1.3.2 光刻技术
1.3.3 纳米压印
1.3.4 聚焦离子束刻蚀
1.3.5 扫描探针加工技术
1.3.6 小结
1.4 摩擦诱导纳米加工方法及其研究现状
1.4.1 摩擦诱导直接加工
1.4.2 摩擦诱导选择性刻蚀加工
1.5 选题意义和研究内容
1.5.1 选题意义
1.5.2 研究内容与方案
第2章 实验设备及方法
2.1 实验材料
2.2 实验设备
2.2.1 原子力显微镜
2.2.2 其他加工设备
2.3 摩擦诱导选择性刻蚀
2.3.1 表面湿法氧化膜的制备
2.3.2 摩擦诱导选择性刻蚀加工
2.4 表征设备及方法
2.4.1 表面形貌表征
2.4.2 化学成分分析
2.4.3 微观结构表征
2.5 本章小结
第3章 基于非晶硅“掩膜’’的摩擦诱导纳米加工
3.1 加工机理
3.1.1 非晶硅的“掩膜”作用
3.1.2 非晶硅的“掩膜”机理
3.2 加工规律
3.2.1 载荷对加工的影响
3.2.2 刻蚀时间对加工的影响
3.2.3 不同晶面上的加工
3.3 非晶层“掩膜’’厚度表征
3.3.1 “刻蚀-促进”效应
3.3.2 载荷对掩膜厚度的影响规律
3.4 可控加工
3.4.1 常规加工
3.4.2 加工特点及优势
3.5 本章小结
第4章 基于Si3N4掩膜的低损伤摩擦诱导纳米加工
4.1 加工机理-HF溶液对氮化硅薄膜的选择性刻蚀
4.2 加工规律
4.2.1 载荷对加工深度/宽度的影响
4.2.2 刻蚀时间对加工深度的影响
4.2.3 Si3N4掩膜能力表征
4.3 可控加工
4.3.1 常规加工
4.3.2 加工特点及优势
4.4 本章小结
第5章 基于SiOx掩膜的无损伤摩擦诱导纳米加工
5.1 加工机理
5.1.1 摩擦化学诱导的选择性刻蚀
5.1.2 加工区域的XTEM分析
5.2 加工规律
5.2.1 湿度对加工深度的影响
5.2.2 载荷对加工深度的影响
5.2.3 加工时效性
5.3 可控加工
5.3.1 常规加工
5.3.2 表面再加工
5.4 本章小结
第6章 其它低损伤摩擦诱导纳米加工方法的探索及应用展望
6.1 无损伤的摩擦诱导直写式纳米加工方法探索
6.1.1 加工机理
6.1.2 加工规律
6.1.3 可控加工
6.1.4 加工优势
6.2 单晶硅摩擦诱导纳米加工方法
6.3 多点接触模式下的摩擦诱导大面积加工
6.4 摩擦诱导纳米加工的潜在应用探索
6.5 本章小结
结论与展望
1.本论文的主要结论
2.研究展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间的学术成果
西南交通大学;