首页> 外文OA文献 >Nanofabrication on monocrystalline silicon through friction-induced selective etching of Si3N4 mask

【2h】

Nanofabrication on monocrystalline silicon through friction-induced selective etching of Si3N4 mask

机译：通过摩擦诱导的Si3N4掩模选择性刻蚀在单晶硅上进行纳米加工

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Jian Guo; Bingjun Yu; Xiaodong Wang; Linmao Qian;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2014
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Temperature-Dependent Nanofabrication on Silicon by Friction-Induced Selective Etching [J] . Chenning Jin, Bingjun Yu, Chen Xiao, Nanoscale Research Letters . 2016,第1期

机译：摩擦诱导选择性刻蚀在硅上进行温度相关的纳米加工
2. Friction-induced nanofabrication on monocrystalline silicon [J] . Yu BJ, Dong HS, Qian LM, Nanotechnology . 2009,第46期

机译：单晶硅上的摩擦诱导纳米加工
3. Simple and low-cost nanofabrication process of nanoimprint templates for high-quality master gratings: Friction-induced selective etching [J] . Wang Hongbo, Yu Bingjun, Jiang Shulan, Applied Surface Science . 2018,第OCTa1期

机译：用于高质量主光栅的纳米压印模板的简单且低成本的纳米加工工艺：摩擦诱导的选择性蚀刻
4. Dopant selective HF anodic etching of silicon-for the realization of low-doped monocrystalline silicon microstructures [C] . Branebjerg, J., Eijkel, . 1991

机译：硅的掺杂剂选择性HF阳极蚀刻-用于实现低掺杂的单晶硅微结构
5. Anisotropic etching of monocrystalline silicon under subcritical conditions [D] . Gonzalez-Pereyra, Nestor Gabriel 2015

机译：亚临界条件下单晶硅的各向异性刻蚀
6. Nanofabrication on monocrystalline silicon through friction-induced selective etching of Si3N4 mask [O] . Jian Guo, Bingjun Yu, Xiaodong Wang, 2014

机译：通过摩擦诱导的Si3N4掩模选择性刻蚀在单晶硅上进行纳米加工
7. Temperature-Dependent Nanofabrication on Silicon by Friction-Induced Selective Etching [O] . 2016

机译：摩擦诱导选择性刻蚀在硅上进行温度相关的纳米加工

Nanofabrication on monocrystalline silicon through friction-induced selective etching of Si3N4 mask

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅