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目录
第一章 绪 论
1.1 气相沉积技术简介
1.2 当前PVD刀具涂层代表技术及实现工艺
1.3 TiN基涂层应用及研究进展
1.4 国内刀具用PVD涂层的市场现状
1.5 本论文的起因、设想及目的
第二章 试验设备、原理和方法
2.1 试验设备
2.2 TiN涂层的工艺过程
2.3 TiN薄膜质量的表征
第三章 脉冲工艺改进试验内容
3.1 直流基体偏压下TiN薄膜的性能
3.2 直流脉冲偏压改进后TiN薄膜的性能
第四章 结论和展望
4.1 论文的工作总结
4.2 本实验的创新点
4.3 研究展望
致谢
参考文献