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声明
第一章 引言
1.1课题背景
1.2国内外研究现状
1.3课题的研究意义
1.4论文的主要内容
第二章 熔石英缺陷诱导激光损伤及损伤测试方法
2.1引言
2.2激光损伤的定义
2.2.1表面损伤
2.2.2体损伤
2.3激光损伤阈值及其测试方法
2.3.1激光损伤的判定方法
2.4影响损伤阈值的因素
2.4.1激光参数对损伤阈值的影响
2.4.2缺陷对损伤阈值的影响
2.5初始损伤产生的理论描述
2.5.1热爆炸和火球的膨胀
2.5.2损伤坑的形成
2.6小结
第三章 熔石英在不同气氛与真空度中的三倍频损伤
3.1引言
3.2实验装置与方法
3.3实验结果
3.4分析讨论
3.5小结
第四章 熔石英元件损伤增长的实验研究
4.1引言
4.2损伤增长实验
4.2.1实验设备
4.2.2实验步骤
4.2.3实验结果
4.2.4损伤增长机理分析
4.2.5结论
4.3经紫外预处理后熔石英的损伤增长实验
4.3.1实验方法
4.3.2实验结果与分析
4.3.3结论
4.4小结
第五章 前期预处理及损伤修复原理与工艺
5.1引言
5.2HF酸腐蚀法
5.3激光辐照预处理
5.3.1紫外激光预处理
5.3.2CO2激光预处理
5.3.3紫外预处理与CO2预处理的实验与比较
5.4 CO2激光修复
5.5小结
全文总结
致 谢
参考文献
读研期间取得的研究成果