声明
第一章 绪论
1.1 研究的背景与意义
1.2 片上变压器国内外研究现状
1.2.1 片上信号隔离变压器
1.2.2 片上功率隔离变压器
1.2.3 玻璃基双面片上隔离变压器的提出
1.3 本文的主要贡献与工作
1.4 本文的结构安排
第二章 变压器基础原理与工艺基础
2.1.1 电流的磁效应
2.1.2 电磁感应定律
2.1.3 安培环路定律
2.1.4 变压器中电磁学基本原理的应用
2.2 片上变压器结构基础
2.2.1 抽头式片上变压器
2.2.2 交缠式片上变压器
2.2.3 叠置式片上变压器
2.3 片上变压器线圈材料基础
2.4.1 变压器中常见的电磁场效应分析
2.4.2 片上变压器中的损耗
2.5 片上变压器重要性能指标
2.6 仿真软件简介
2.7 工艺简介及操作基础
2.7.1 光刻
2.7.2 刻蚀
2.7.3 金属淀积
2.7.4 减薄及化学机械抛光
2.8 本章小结
第三章 玻璃基双面片上隔离变压器的设计及仿真
3.1 玻璃基双面片上隔离变压器基础结构
3.2 玻璃基双面片上隔离变压器各参数仿真及结果
3.2.1 线圈尺寸对玻璃基双面片上隔离变压器性能的影响
3.2.2 线圈匝数对玻璃基双面片上隔离变压器性能的影响
3.2.3 线圈宽度对玻璃基双面片上隔离变压器性能的影响
3.2.4 线圈间距对玻璃基双面片上隔离变压器性能的影响
3.2.5 线圈厚度对玻璃基双面片上隔离变压器性能的影响
3.2.6 初次级线圈间距离对玻璃基双面片上隔离变压器性能的影响
3.2.7 衬底材料对双面片上隔离变压器性能的影响
3.3 简易型玻璃基双面片上隔离变压器
3.4 带通孔型玻璃基双面片上隔离变压器
3.5 本章小结
第四章 玻璃基双面片上隔离变压器的工艺设计及实验制备
4.1.1 简易型玻璃基双面片上隔离变压器的工艺流程设计
4.1.2 简易型玻璃基双面片上隔离变压器的版图设计
4.1.3 简易型玻璃基双面片上隔离变压器的实验制备
4.2.1 带通孔型玻璃基双面片上隔离变压器的工艺流程设计
4.2.2 带通孔型玻璃基双面片上隔离变压器的版图设计
4.2.3 带通孔型玻璃基双面片上隔离变压器的实验制备
4.3 本章小结
第五章 全文总结与后续展望
5.1 全文总结
5.2 后续工作展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的成果
