文摘
英文文摘
原创性声明和使用授权书
第一章薄膜太阳电池发展急需低成本TCO
1.1太阳电池的发展
1.2TCO和薄膜太阳电池
1.3薄膜太阳电池发展
1.3.1CdS薄膜的结构，光学和电学性质
1.3.2CuInSe2多晶薄膜材料与CdS/CuInSe2太阳电池
1.3.3多晶薄膜CdTe材料和CdTe/CdS太阳电池
1.4太阳电池面临的挑战及对策
1.4.1太阳电池降低价格的方向是发展薄膜太阳电池
1.4.2薄膜太阳电池需要低成本的TCO
1.5本章小节
参考文献
第二章超声喷雾热分解法在TCO制备上的应用
2.1现有的制备TCO的方法
2.1.1溅射法原理
2.1.2热喷涂法与超声喷雾热分解法
2.2超声喷雾热分解法的原理
2.3超声喷雾法国内外研究进展
2.4本章小节
参考文献
第三章超声喷雾热分解法制备TCO薄膜的装置研制
3.1超声喷雾热分解法制备TCO薄膜的实验装置图
3.2起振瓶的设计和工作原理
3.2.1起振瓶的设计
3.2.2超声起雾的原理及各种控制参数的解决方案
3.3管道的设计和工作原理
3.4喷头的设计和工作原理
3.4.1尖嘴喷头
3.4.2漏斗型喷头
3.4.3狭缝喷头
3.4.4水冷喷头
3.5导热体的选择
3.5.1导热系数及影响导热系数的因素
3.5.2导热体的解决方案
3.6温度测试
3.7移动装置
3.8本章小节
参考文献
第四章超声喷雾热分解法制备SnO2:F薄膜及材料性能分析
4.1基片的清洗
4.2SnO2的掺杂和制备
4.2.1SnO2的掺杂机制
4.2.2药品的选择和溶液的配置
4.3方块电阻和膜厚的测量方法
4.3.1方块电阻的定义
4.3.2方块电阻的四探针测法
4.3.3ITO膜方块电阻的测试条件
4.3.4方块电阻的经验测法
4.4薄膜的膜厚的测量
4.4.1薄膜的厚膜定义及分类
4.4.2形状膜厚的一般测量方法
4.4.3膜厚的观察法估计的原理
4.5温度的测量和标定
4.6NH4F/SnCl4.5H2O比例和温度的关系
4.7参数的测试
4.8成膜过程的一般分析
4.8.1超声喷雾热分解法制备SnO2:F薄膜的成膜过程温度和类型分析
4.8.2超声喷雾热分解法制备SnO2:F成膜动力学分析
4.9成膜过程的AFM分析
4.9.1在单晶硅片上沉积的薄膜的AFM分析
4.9.2玻璃衬底的使用
4.9.3在严重软环的玻璃衬底上沉积薄膜的表面特征
4.8.4玻璃衬底正常情况下的薄膜表面形貌
4.10SnO2:F薄膜的XRD分析
4.10.1晶体与X射线衍射
4.10.2XRD基本原理－布拉格方程
4.10.3粉末X射线衍射法
4.10.4 SnO2:F薄膜成膜过程的X射线衍射(XRD)分析
4.11本章小节
第四章参考文献
第五章用超声喷雾热分解法制备ITO薄膜及其性能研究
5.1ITO薄膜的应用
5.2ITO薄膜的晶体结构及能带
5.3超声喷雾法制备ITO薄膜的配方及工艺
5.4ITO薄膜的XRD分析
5.5ITO薄膜的AFM分析
5.5.1不同温度沉积的ITO薄膜的AFM分析
5.5.2不同温度沉积的极薄薄膜的AFM分析
5.6本章小节
第五章参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表的学术论文
