中文摘要及关键词
英文摘要及关键词
1 引言
1.1二十一世纪是质量的世纪
1.2半导体工艺简介
1.2.1 半导体发展简史
1.2.2 半导体加工工艺流程
1.3半导体工艺中质量控制的特点
1.4研究方向及意义
2 半导体工艺中的质量控制与管理基本理论基础
2.1戴明的“十四要点”和PDCA循环
2.2基本控制系统
2.3小结
3 控制图和工序能力分析原理
3.1工序质量波动及其规律性
3.2工序能力
3.2.1 工序能力分析
3.2.2 工序能力指数
3.3 SPC控制图
3.4质量检验
3.5小结
4 宏丰公司质量控制系统TQP概述
4.1公司背景介绍
4.2 TQP组织的形成
4.3 TQP的系统方法
4.4小结
5 宏丰公司的质量控制系统调查与分析
5.1公司质量现状
5.2调查目标和调查计划
5.3调查结果总结
5.3.1关键工序和关键控制点
5.3.2实际的应用情况
5.3.3质量控制渠道的有效性
5.3.4对现质量控制方案的优化
5.4小结
6结论
附表1
参考文献
致谢
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