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陈亮;
复旦大学;
散射测量; 纳米级晶圆复杂轮廓; 优势测量; 集成电路;
机译:粒子测量技术:晶圆上的粒子测量-粒子测量技术及其在非图案化晶圆中的应用
机译:粒子测量技术:晶圆粒子测量技术的粒子测量及其在非图案晶圆中的应用
机译:“近期半导体产业的测量技术”:半导体工业中使用的人类传感技术 - <图案晶圆,熊晶片,应用于薄晶圆检验>
机译:半导体晶圆制造擦拭轮廓的性能测量技术:模型和应用
机译:基于铂上钡六角形铁氧体薄膜的晶圆上毫米波陷波滤波器。
机译:通过使用自掩膜蚀刻技术在晶圆表面形成纳米级金字塔提高多晶硅晶圆太阳能电池效率
机译:接地屏蔽测量技术,用于RF CMOS器件的晶圆上准确表征
机译:基于mEms执行器的可重构贴片天线的新型晶圆辐射方向图测量技术
机译:晶圆缺陷测量涉及在两个或多个晶圆温度下,根据测量的散射激光辐射强度测量晶圆表面缺陷的深度
机译:白光扫描型晶圆厚度测量装置,能够根据晶圆状态优化散射光或反射光的数量
机译:散射测量技术以确定特征的不对称轮廓,并生成与之相关的反馈或前馈过程控制数据
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