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彭名君;
复旦大学;
化学机械研磨; 铜互连; 铜腐蚀; 工艺优化;
机译:盐酸溶液铜腐蚀中甲基羟乙基纤维素的化学,电化学和形态学研究
机译:通过化学分散和行星机械研磨工艺混合制备的可紫外固化的蒙脱土/环氧树脂纳米复合材料的表征
机译:三元二苯酚作为铜腐蚀抑制剂在0.5mol / L H_2SO_4溶液中的电化学研究
机译:实习三。将生物活性分子固定在介孔分子筛中并制备定向的MAPO-39膜。实习二。卤化和有机磷化合物的处理,铝涂层的ECAFM研究和钛研磨工艺研究。实习一。用于气体分离的聚-3-(烷基噻吩)膜:结构/性质研究
机译:四唑鎓紫的电化学研究在酸性环境中用作新型铜腐蚀抑制剂
机译:来自高能机械研磨工艺的陶瓷纳米复合材料来自高能机械研磨工艺的陶瓷纳米复合材料
机译:光谱,伏安和电化学扫描隧道微观研究自组装有机硫醇单分子层的低电位沉积铜腐蚀和钝化
机译:回收方式以及用于回收包含半导体处理工艺特别是化学机械研磨工艺中的浆料的废液的装置
机译:钨化学机械研磨工艺中形成低损耗介电层的方法
机译:关于化学机械的研磨工艺和
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